跨尺度微纳米测量仪的开发和应用项目通过初步验收筛选设备

2019年3月22日，国家重大科学仪器设备开发专项“跨尺度微纳米测量仪的开发和应用”项目初步验收会议在上海市计量测试技术研究院召开。会议由国家市场监管总局科财司主持，中国计量测试学会理事长蒲长城担任专家组组长，上海市市场监管局、上海市科委领导出席会议。

“跨尺度微纳米测量仪的开发和应用”项目于2014年10月正式获得国家科技部批准立项。由上海计测工程设备监理有限公司牵头，上海市计量测试技术研究院提供技术支撑。总经费7681万元，其中中央财政专项经费投入3731万元，最终，该项目将形成年产50台生产能力，累计销售收入5000万元。

项目研究的内容主要是突破我国在微纳米检测技术领域检测方法集成开发的诸多技术瓶颈，攻克宏微联动多轴驱动和多测头集成、基于原子沉积光栅的纳米量值溯源等关键技术，研制用于计量、工业生产、产品检测中微形貌和几何尺寸测量的微纳米测量仪，并构建跨尺度、高精度微纳米测量与研发平台，为我国国防、航空航天、半导体制造业、微机电产业、大气污染物防治等领域提供有效的纳米计量技术的支持和保障，提升我国高新技术产业中微纳米尺寸定量化测量的技术水平。

目前，项目已经开发出6种不同型号跨尺度微纳米测量仪，攻克了宏微结合多轴驱动和复合式测头集成、原子沉积光栅纳米量值溯源、双角度倾斜式场扫描等关键技术。项目开发的双测头——光学干涉测头和扫描探针显微测头垂直方向具有纳米级分辨力，结合自主开发的跨尺度微纳米测量仪软件，能实现高度（深度）、表面粗糙度和平面度测量功能。项目成果可应用于航空航天、微电子、环境监测等领域，为提升我国微纳米领域测量能力奠定了基础。

验收会上，项目负责人邵力院长、技术负责人同济大学李同保院士以及各任务负责人向专家组做了项目和任务的技术成果汇报。专家组根据初步验收要求，着重对项目及下设的任务进行验收。专家组审阅了相关资料，并现场参观了项目成果“跨尺度微纳米测量仪”样机。经专家质询和讨论，专家组形成验收意见并一致同意项目通过本次验收。

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